报告题目:光刻胶研究现状、挑战和发展趋势
报告人:梁红波
主办单位:79906am美高梅
报告时间:2020年8月20日13:30-15:30
报告形式:腾讯会议(会议ID:107740030)
报告人简介:
梁红波,南昌航空大学教授,博士,江西省高校中青年骨干教师,中国感光学会理事,中国辐射固化专委会副理事长暨常务委员,江西省航空学会会员。2005年毕业于中国科学技术大学,获高分子化学与物理理学博士学位,之后在南昌航空大学工作至今。先后在美国科罗拉多大学博尔德分校和波士顿学院访学。主要的科研方向为辐射固化材料、新型环保涂料和纳米材料表界面,先后主持完成国家自然科学基金和省部级课题10余项,企业横向课题8项,获授权发明专利16件,发表学术论文80余篇,其中SCI收录39篇。先后获江西省教学成果一等奖、校教学成果一等奖和中国先进技术转化应用大赛产业化类优胜奖,并指导学生获江西省优秀硕士学位论文,所撰写的“如何突破光刻技术难题”经中国感光学会推荐成功入选中国科协2020十大工程技术难题。
报告摘要:
光刻技术是微电子制造过程的关键技术,是目前最高效的高精度微纳加工技术。近年来,我国光刻技术取得了快速发展,但和国外先进技术还有很大的差距,报告在对比分析我国光刻技术的现状、问题和解决思路的基础上,重点探讨光刻胶的发展历程、存在问题和下一步的研究重点。
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